檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "hardness".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="楊氏模數"
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本研究以奈米壓痕及表面聲波量測技術,來量測鍍鐵-鎳合金薄膜的楊係模數及硬度。蒸鍍鐵鎳薄膜時基板溫度為27℃及270℃,蒸鍍薄膜厚度為10 nm到130 nm。可用原子力顯微鏡量測其表面粗糙度。從XR…